B11 · Yarı İletken ve Elektronik Gaz
Yarı İletken ve Elektronik Özel Gazlar için Paslanmaz Çelik Plakalar: Seçim Kılavuzu ve 6 Parça Listesi
Yarı iletken ve elektronik özel gazlarımızda, paslanmaz çelik kullanarak 6 parça düzenledik: yaygın olarak kullanılan 316L / 304L, kalınlık 0,05–30 mm aralığında.
Altı Konum ve Malzeme Listeleri
| Konum / Parça | Önerilen Kalite | Spesifikasyonlar / Kalınlık | Yüzey | Ana Arıza Modları | Referans Standartlar |
|---|---|---|---|---|---|
| UHP Gaz Transfer Boru Hatları | 316L VIM-VAR | 1/8″–2″ | Ra≤0,4μm elektroparlatma; Taneler Arası Korozyon Testi | Partikül tutma → gofret kirlenmesi; Cl⁻/F⁻ aşındırma; kaynak ısıdan etkilenen bölge (HAZ) korozyonu | SEMI F20 Sınıf 5；ASTM A269/A632；SEMI F19 |
| Özel Gaz Kabini için Vana Gövdesi/Göstergeler/Diyafram Vanalar | 316L VIM-VAR Dövme Parçalar | DN1/4″–1″；Cv 0,05–1,30 | Ra≤0,4μm elektroparlatma | Oturma yeri ile boru duvarı arasındaki mesafenin > 1D olması tutma ölü bölgeleri oluşturur; aşındırıcı özel gaz aşındırması | SEMI F20 4.6.2；ASTM A182 |
| Gaz Filtreleri/Bağlantılar/Bağlantı Noktaları | 316L VIM-VAR | Arayüze göre | Ra≤0,4μm elektrolitik parlatma | Partikül ve korozyon ürünleri tıkanması; bağlantı noktalarında sızıntı | SEMI F20; ASTM A269 |
| CMP bulamacı/ıslak kimyasallar transfer boru hatları | 316L EP/PFA/PTFE kaplama | 1/4″–2″ | Ra≤0,4μm elektrolitik parlatma | Aşındırıcı taşlama + güçlü asit/oksitleyici + partikül tutma | SEMI F20; SEMI F57; ASTM A269 |
| Pul Yıkayıcı/Kelepçe/Püskürtücüler | 316L/PFA/Silikon/Kübik Silisyum Karbür | 3-10mm Kap | Parlatma/Difüzyon | Güçlü korozyon + partikül kontaminasyonu | SEMI F20; ASTM A240 |
| Vakum Odası/Yüz Plakası/Gözlem Penceresi Boynu | 304L/316LVakum Sınıfı | Gemi | 2B/Aşındırıcı Parlatma/Asit Yıkama | Düşük Vakum Bozunması, Kaynak Kaçağı | ASTM A240; SEMI F20; ISO 3669 |
Oran Gereksinimleri KarşılamıyorStandart yapılandırma.Aynı parça, kullanım koşullarına göre 316L'den 304L veya 2205'e geçiş yapabilir; sadece malzeme yerine koşulları belirterek zamandan tasarruf sağlar.
Malzeme seçiminde kilit noktalar
- En yaygın kullanılan kaliteler 316L (6) ve 304L (1)'dir.
- Asite dayanıklı 316L ile başlayın, 904L / veya dubleks (2/6 isabet) ile daha yükseğe çıkın.
- Kalınlık aralığı: 0,05–30 mm: İnce plakalar şekillendirme parçaları içindir (bükülme geri yaylanması ve derin çekme çatlamasını dikkate alın), kalın plakalar kaynak yapıları içindir (ısı girdisi ve hassaslaşmayı dikkate alın).
Sıkça Sorulan Sorular
Yarı iletken ve elektronik özel gazlar için en çok hangi paslanmaz çelik kullanılır?
Toplam 6 parçadan 316L en sık görülür (6 isabet), ardından 304L (1 isabet) gelir. Belirli bir parça için seçim hâlâ ortama ve sıcaklığa bağlıdır. Örneğin, paslanmaz tezgâhlardan biri tuzlu suya maruz kalırsa her ikisi de farklı kaliteler gerektirir.
Hangi tür alanlar sorunlara yatkındır?
Arıza tanımlarına dayanarak, tipik örnekler "UHP gaz taşıma boruları"nı içerir: partikül tutma → pul kirlenmesi; Cl⁻/F⁻ özel korozyonu; kaynak ısıdan etkilenen bölge (HAZ) korozyonu. Önerilen kalite 316L VIM-VAR, spesifikasyonlar 1/8″–2″. Bu koşullar için tasarım aşamasında ortam konsantrasyonu, sıcaklık ve temizleme yöntemlerinin belirtilmesi önerilir.
Hangi kalınlığı seçmeliyim?
Listedeki kalınlık aralığı 0,05–30 mm'dir. İnce plakalar için bükme ve yüzey kalitesi; kalın plakalar için kaynak ve yapısal dayanım dikkate alınmalıdır. Değerler aynı konum için ekipman üreticisine göre değişebilir. Çiziminiz veya çalışma koşullarınızla yeniden kontrol edin.
İlgili Malzemeler ve Komşu Endüstriler
Applications6